LT200A 激光晶圓激光退火設備
制造商：中國（中科鐳特）
主要功能：晶圓激光退火
LT200A 是一臺智能化的晶圓激光退火系統。主要應用于晶圓的熱處理工藝，包括晶圓合金化、注入退火和摻雜活化等。智能化體現在此系統配備圖像定位系統、自動對焦系統、溫度智能檢測、全自動上下料系統和常規應用的數據庫自動調用系統。
技術特點
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高性能激光器 激光器、光束質量好、穩定性好、單脈沖能量高。 |
優化的光學系統 光束整形，定制的平頂光斑提高退火溫度一致性和加工效率。 |
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完全自動執行 機器視覺定位，精度高，無需人工干預，操作簡單，效率高。 |
激光防護系統 符合工業標準的激光防護結構，保證操作人員安全。 |
微信公眾號：三吉半導體
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